産業用向け圧力センサーの応用

 圧力センサーは、一般産業において重要なプロセスや品質向上のための役割を果たしています。この分野での応用例は、非常に低い真空(負圧)や微圧から(250Pa/1INCHH2O以下)非常に高い圧力(70MPa/10,000psi以上)まで幅広くあります。故 エンジニアは適切な圧力センサーを選ぶために、いろいろな点を考慮しなければなりません。

 オールセンサーズは、半導体(MEMS)製造技術を採用し、オールセンサーズの圧力センサーは、高精度と優れた繰り返し性が特徴で、特に低圧(1MPa/150 psi未満)に焦点をおいた乾燥空気や不活性ガスの圧力測定用に設計されています。高圧のアプリケーションでは、センシング部分が油圧などの測定媒体から受圧感応部分と隔絶した構造にする必要があります。以下に、圧力センサーが現在使われている応用例をいくつか示します。


  エネルギー消費に関しては、ビジネス上環境への影響を最小限にするとともに、企業自身の消費電力や関連コストを下げるためにますます重要となってきています。気象台、ディーゼルトラック排出物の分析機器、風力エネルギーシステム、航空力学を応用した建設設計上の風工学、海洋調査、高緯度観測気球、水質汚染測定機器、煙突水銀サンプリング、大気研究等の各分野において、高精度圧力センサーによる測定が必要となりつつあります。

 
 一般産業界では、自社製品の管理や大量のデータを管理維持するための環境において高精度圧力センサーが必要となります。圧力センサーのアプリケーションは、高度測量器、気圧計、センシングプリンターのインクレベル、機器内の空気流動率、ITセンター/コンピューターコントロールシステム、セミコンダクター製造関連機器、レーザー測定、無菌室監視機器らがあります。
 


  半導体(MEMS)圧力センサーに関する製造業でのアプリケーションは、品質管理上の要求やより厳しく管理されたプロセスコントロールからの要求によりその拡大を続けています。圧力もしくは真空をより精密に監視する事によって、中断時間や製造コストの増加を引き起こしかねない不測の異常などを、事前に発見する事が出来ます。静的な測定を必要とする一般的な機器装置に加え、圧力センサーは配管や機器からの漏水発見、変速風量方式(VAV)、エアブレイド、圧縮された空気の圧力監視、流体監視、フィルター圧力監視、ダクト空気流動、ガス検知、空気制御、坑内保安器具、脱ガス装置、回路基板製造工程や半導体関連装置といったアプリケーションにおいてますます増える可能性があります。