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センサーヒストリー

 

前書き

 
 この歴史は、弊社All Sensors社創立者であるデニス・ダウエンハウアーの回想を記載した内容となります。
 
 私がモルガン・ヒルでお客様とお会いした時やセンサー業界の方々に初めて出会った時決まってお話しすることがあります。シリコンバレーのシリコン製センサーの歴史をいくつか紹介し過去に取り組んできたアプリケーション例を紹介するのです。この話は時に有益なアイディアやインスピレーションを与えてくれます。一部となりますがここで紹介したいと思います。
 

Fairchild Semiconductor社時代

 
 Fairchild Semiconductor社時代、私はシリコンバレーで初となるシリコンセンサー実用化のための業務に従事していました。シリコンバレーにこのセンサー技術を持ってきたのは最高責任者であったアート・ジアスです。
 
  アートは1950年代後半の工学系学生の時、ベル研究所でテクニカルライターをしていました。シリコンやゲルマニウムのピエゾ抵抗は、ベル研究所のファン、サーストン、スミスらの研究から生まれ、アートによって歴史に名を刻みました。
 アートは1950年代に、プロのサックス奏者としてもニューヨークの有名なスタジオで活動していました。彼はこう言いました、「私はトップジャズ演奏者と演奏するぐらいサックスに熱中していました。しかし、彼らほど才能はありませんでした。」
 
 ファンの功績によって、アートはシリコンセンサーにおける生涯のキャリアを作る事が出来ました。ビル・ファンはアートに刺激を与えただけでなく、「私達が発見した半導体の圧電効果は何かに利用できるのではないか。」と助言しました。おそらくこの時にピエゾ抵抗という物が産業として生まれたのです。
 
 1960年、アートはGE社に入社し、個体運動変換の導入においてコンペティションをHoneywell社から勝ち取りました。これを理由にHoneywell社を離れたトニー・カーツによってKulite社が生まれました。1964年、アートはHoneywell社に入社しソリッドステート電気センター(SSEC)の研究を始めました。60年代、アートはSSECの、航空宇宙部門・産業部門およびマイクロスイッチ部門でピエゾ抵抗式加速器と圧力センサーの発展に尽力しました。ハンズ・ケラーはその時SSECの物理学者でした。彼はのちにスイスでKeller社を設立しました。
 
 1969年にアートは元Honeywell社のドン・レイナムにFairchild Camera & Instrument社のトランスデューサー部門の技術ディレクターとして招聘されました。ジーン・バークはすぐにHoneywell社を離れ、アートの元へ参加しました。アートはジーンにバルク型シリコンマイクロマシニングにおける独自の研究を与えました。ジーンの業績以前、センサーは3次元構造を組み込んでおらず、平面だけでした。ドン・アート・ジーンは、Fairchild社を離れ、ICTranducers社(後のFoxboroICT社)をフェアチャイルド社の援助で1971年に設立しました。」
 
 1972年、アートとビル・ハレはフFairchild社の援助なしに、National Semiconductor社のトランスデューサー部門を設立しました。ICT社に加え、Fairchild社にて自動車への応用に関する研究が行われていました。
 Fairchild社において、イグニションモジュールへの技術と同様に、シリコンピエゾ抵抗技術に基づき多くの圧力センサーの発展が続けられました。しかしアートが離れた事によって、その研究は止められました。National Semiconductor社とFairchild社はアートの離脱についての訴訟に関与しました。Fairchild社に残った技術はBob Hood社に売られ、結局Emerson Elecrric社に転売され、それ以来名前を聞くことがありません。
 
 私は1973年にFairchild Semiconductor社のリック・スチャフジンの友人の技術者と行ったゴルフ場でアートに出会いました。リックは1980年代にIC Transducers社の社長になりました。アートはすごいゴルフスイングをします。アートがスイングする時メトセラの呪いを避けるために目をそらすのが一番良い方法でした。アートのスイングを見ると塩の柱になってしまうと噂されました。(※アメリカンジョーク)
 
 Fairchild社で私達はDelco Electronics社と共に、最初のソリッドステートイグニションモジュールを発展させ、ピーク時には週に5万モジュールを出荷しました。私は自動車やその他のハイブリッド製品に関する製造過程・製品エンジニアでした。技術マネージャーは現在のAltera社の社長ロドニー・スミスでした。
 

National Semiconductor社時代

 
 1970年代前半シリコンバレーにおいて商業用のシリコン製センサーを製造していたのはNational Semiconductor社のアートとFairchild社との共同研究をしていたIC Trunsducers社のドン・レイナムだけでした。世界ではHoneywell Microswitch、Hans Keller、スイスのKeller、ニュージャージーのKulite、ヨーロッパのPhilipsなどが製造していました。
 
 当時最新の研究を行っていたのはアメリカの大学でした。ケース・ウェスタン大学のウェン・コー博士、スタンフォード大学のケンダル・ワイズ博士、カーネギーメロン大学のジョン・グラッグ博士などの研究グループです。
 
 National Semiconductor社は自動車分野の事業に参入したいと考えていました。アートはNational社の経営陣に「圧電効果」についてスピーチするよう求められました。アートは、最も簡単な言葉で説明しようとしました。彼はシリコンによる信号変換が利益へと繋がることを説明しました。それはNational社にとって魅力的で、アートのNational社における10年間の研究生活が始まりました。
 アートはより正確にシリコンによる「圧電効果」についてスピーチし、このスピーチはその後のNational Semiconductor社へ大きな影響を与えました。
 
 1970年代中盤には、私はNational Semicondutcors社のトランスデューサーズを含む全てのハイブリッド製品のマーケティングに関する責任を任せれていました。その時、車会社による、自動車のMAPセンサーを発展させるための大きな研究努力がありました。
 National社で私達はDelco Electronics社とFord社と一緒に、2種類のMAPセンサーを共同開発しました。Delco社モデルには当時のHoneywell社と同様のセンサーダイがあり、Fairchild社のイグニションモジュールと同様の形状をしていました。この製品とそのモデルは未だにDelco社などが製造されています。
 このセンサーと同様のモデルは全ての世界中の他の主要な自動車メーカーで利用され、事実上の業界スタンダードとなっています。Ford社モデルはシリコン可変静電圧力センサーです。それは未だにFord社とMotorola社によって製造されています。しかし、その他の車のメーカーでは使われていません。ピエゾ抵抗式よりも高価だからです。一部の企業では厚膜ハイブリッドMAPセンサーも使われています。」
 
 1977年、私はシアトルのTransducer Range Commanders会議にと参加していました。この会議には当時Kulite社の技術副長であるジョー・マロンも参加していました。この時、ジョーはシリコンのピエゾ抵抗圧力センシング過程における非常に多くの特許を持っていました。(1983年、ジョー、カート・ピーターソン、ヤヌーシュ・ブリゼックはNova Sensorsの共同創設者となりました。)
 私はこの会議でその当時シリコン圧力センサーの半導体処理による温度影響に関して最も知識のある人物であるジョーを知りました。今日でもほとんどの企業は抵抗と感度における温度係数を設定するために、シリコン中のドーパント濃度の決定にために彼の研究を参考にしています。
 
 1978年、私はサンフランシスコのセミコン・ウェストに参加し、ワヌス・ブリゼック博士のシリコン圧力センサーの温度補償に関するプレゼンを聞いていました。ワヌスは、少なくとも20個のアンプと数百の抵抗とたくさんのポテンショメータを持つ電子回路をプレゼンしました。私が今まで見てきた温度補償に関する電子回路の中で最も精巧な設計でした。彼は聴衆に「ブリゼック博士、これだけたくさんの要素がある回路の温度補償では誤差はどれくらいになるのですか?」と聞かれました。ワヌスは何のためらいもなく「誤差はありません、完璧です!」と答えました。彼は正しいと思うがどうやってそれを証明するのだろうか?と私は感じました。(マーケティングの観点からではなく、エンジニアの観点から。)この会議から私はワヌスを知りました。
 同じ時期、American Hospital Supply社はNational社に5ドルの使い捨て血圧用圧力センサーのカスタマイズを求めてきました。最初の研究はその時始まり、今日おそらく圧力センサーの応用で、自動車用のMAPセンサーに次いで世界2番目に大きな応用先となっています。
 
 1977年、National Semiconductors社のトランスデューサーハンドブックは、トランスデューサー業界の参考書となりました。この本は未だにSensym社のハンドブックと共に再版されています。このハンドブックは未だに圧力センサーの選択する上での参考書となっているのです。1977年のハンドブックは、「キーキー鳴く豚」という音響測定に関する章や「サムソンと喜び」という信号調節の章など普通でないタイトルや前書きが含まれているユニークな本でした。この本はアートと、当時のバイブルを監修し書き直している物理学者のレイ・ピッツ博士、そして私の成果です。特にレイ博士が骨を折りました。当時は予想もされていませんでしたが彼とNational社との不幸な終わりと悲劇的な人生の終わりが彼を待っていました。
 
 1980年私はNational社のトランスデューサー製品の運営部長になり、アート・ジアズは私の直属でした。それは私達にとって本当にやりがいがあり楽しい時間で、アートは全員を楽しませてくれました。エンジニアに加えアートはNational Semiconductors社の年間の売上会議の式典の責任者となり、彼の多くの逸話を伝える役割として私を使おうとしました。記憶に残っている彼の逸話の1つはナショナルセミコンダクターのCEO、チャーリー・スポックについてです。彼の財務分析の批判に対して、チャーリーは「彼は会社を壊そうとしている」と言いました。この発言に関してアートはナショナルの数百人の従業員とその販売員に「あの怒っているお金持ちの男は奇妙な迷信を作り上げてしまう可能性があるのを見せてあげましょう。」と言いました。トランスデューサービジネスの特許は短い期間で1億ドルのビジネスに成長するために何が必要なのかを決めるものでした。その時私は知りませんでしたが、他の代替可能なものだけがそのビジネスを抜け出すものでした。
 

National Semiconductors社のトランスデューサー事業に携わる著名人

 
 National Semiconductor社でトランスデューサー事業の運営に関与した最も著名な人物は1974年から1979年までのハイブリッドとトランスデューサー製品の運営部長のマイク・スコットでした。私はこの時マイクの直属であり、彼は最もマーケティングに知識があり、恐らく私が今まで出会った中でもっとも明るい人物でした。以前Fairchild社のマイク・マークラに使えていたマイクは、National社を離れApple Computerの初代社長となりましたが、彼とスティーブ・ジョブスの考え方が異なった1983年にアップルを離れました。アップルの広報議長のマークラ、はマイクの代わりにスティーブを選択しました。マイクはこの時にアップルの800万の株を持ってアップルを離れ、その後を楽しみました。彼は、打ち上げに失敗した最初の衛星とスターストラックと一緒に、衛星事業を立ち上げようと試みました。彼らの衛星のコンセプトは圧倒的な技術力のアピールでした。しかし、結局その衛星と投資が大西洋に沈んでいくのを高価なボートから見ていることしかできませんでした。
 フロイド・クヴァーミーはNational社のマーケティング部門と販売部門の部長でした。ピエール・ラモンドは研究開発を試みました。フロイドとピエールは本日のベンチャーキャピタル界隈ではとても知られた人物です。National社では私達のセミコンダクター処理はボブ・スワンソンによって、リニアグループで行われていました。ボブはナショナルをリニアピープルのチームと共に離れ、今日セミコンダクターで非常に利益を上げている会社、リニアテクノロジーを起業しました。彼らが離れたことを受けて、チャーリー・スポークは、法的措置をおこしました。これにより暫くの間、彼らは新しい仕事をすることが出来ませんでした。リニアの共同者の1人、私がNational社で少しの間一緒に働いていたブレント・ウェリングはのちに私達と共にSensym社を立ち上げマーケティング部門と販売部門の部長になりました。
 
 National社では私は慈善委員会のメンバーで、スタンフォード大学のセンサーグループを訪れる機会がありました。ケンダル・ワイズはその研究のトップでミシガンの大学のセンサー研究を任されていました。私はジム・ヌッティに会いました。彼は、国立保健研究機構を設立、集積回路、羊の体の機能を測定するための圧力・温度センサーに関わっていました。ジムはヘンリー・アレン博士と共に研究し、後に(1984年?)にアートが以前に「ロボットの指先」として発表したシリコンを使用する力センサーを製造する会社を立ち上げました。このTransensory Devices Inc社はIC Sensors社に買収され、ジムとヘンリーはIC Sensors社に残りました。ジムはその少し後にスイスでAscom社と共にセンサー事業を始めました。Ascom社は最終的に買収され、火災事故などの影響がありこの事業は終了しました。ヘンリーはジムと共にAscom社と共に1992年にSillicon Microstructures社を立ち上げました。SMI社は1995年にExar社によって買収され、ジムとヘンリーはSMI社とExar社ので働き続けています。彼らはシリコンの圧力集中、モデリング、低圧機器や加速器の非常に良い研究をしています。
 

Sensym時代

 1982年、私がNational Semiconductorの経営陣にトランスデューサーの事業が短期間のうちに1億ドル規模にはならないという事を伝えた時、この事業を売却するよう指示されました。その時、ジョン・ネシャイムはNationalの会計担当者であり、私に指示をしました。ジョンは後にテレビで有名なアート・リンクレターと共にミニストリーマネジメントを作り、ベンチャーキャピタル財政に関するいくつかの本を書きました。その時、私のマーケティングマネージャーはマニー・ネイクで、今はIntegrated Sensor Solutions社の社長となっています。マニーと私はジョン・マロンと話し合い、私達3人はどうすれはこの事業を続けられるかを考えました。私達はヤヌーシュ・ブリゼックも議論に加える事に決めました。十分な会議の後、私達は会社の体制について同意する事は出来ず(後にNovasensorで採用された「社長室」は私にはそれは魅力的には見えませんでした)そして、National社にレバレッジ・バイアウトを提案する事にして、ヤヌーシュは技術部門の部長として私達に加わることになりました。
 マニーはNational社に残り、後にIntegrated Sensor Solutions社へ移りました。ISS社は現在自動車へ応用に関する圧力センサー分野で活動しており、日本、ドイツ、アメリカのブリードオートモーティブの会社と戦略上の関係を持っています。マニーは疑いもなく、圧力センサー事業でマーケティングに関して最も良い人物です。
 
 私はトランスデューサーグループの財政を整えるためにNational社から1ヶ月を与えられました。ジョン・ネシャイムの紹介によりロバートソン、コールマンとステフェン、ボブ・カミングからの融資によって事業買収の準備をすることができました。ボブはまたクロスポイントインベストメント社に貢献し、私達はクロスポイント社のジョン・マムフォードの助けを借りて事業計画を発展させました。私はジョン・ネシャイムによって財政コミュニティに紹介してもらえてとても幸せでした。私達は1982年にこの事業の買収を完了させ、この時からSensym社が生まれました。
 私はその5年前にドイツで会った、ヨーロッパのマケーティンング部長、Helmut Gutgesellと、とてもいい関係を築きました。彼はSensym社の製品を独占するためにドイツで新たな会社を立ち上げようと提案しました。それで生まれたのがSensortechnics GmbH社です。Sensortechnics社は本日ヨーロッパで圧力センサーの供給者として最も成功している企業の1つです。
 
 私はSensym社をInterdesign社が撤退した土地の1253 Reamwood Avenue、Sunnyvaleに置きました。Interdesign社はFerranti社に売られ、スコットバレーに移動しました。この場所は後に所属していたData InstrumentsASG社と同じです。私達は4インチの半導体製造施設を置き、シリコンの微細加工とリニアICを組み立てる事が出来るようにしました。私達のSensym社での素晴らしい業績のいくつには、多腔型カテーテルのための0.023インチ以下の使い捨て血圧センサーを含む、侵襲性または非侵襲性の使い捨て血圧センサーなどがあります。その他にフルカスタムのIC付き圧力センサーや温度センサーを組み合わせたMichelin社向けのハイブリッドモジュールを発展させました(全て社内で製造)。最初はBMWモデル850のタイヤの圧力測定に使われました。私達はフルカスタムの砲弾距離センサーや電動義手を作りました。これには初期のシリコン加速器メーターが含まれていました。そのモジュールは距離を測定するために加速の2重積分を行っていました。私達は初期の低コストのデジタルタイヤ圧力計を開発しました。これは最も高価な圧力センサーでした。タイヤの圧力測定はその後も開発が進められました。80年代、Sensym社は産業研究(より正確な発展)の重要な部分が行われていました。Novasensor社が研究をし、Sensym社が開発を行っていました。
 
 ヤヌーシュ・ブリゼックは私達と約3か月間一緒に働いていましたが、すぐにFoxboroICT社に移りICセンサーを始めたDon Lynam社に参加しました。彼の代わりに、私達はMotorola社から技術研究をサポートとしてジョン・グラッグを雇いました。ジョンはカーネギーメロン大学で圧力センサーを製造する目的でシリコンのせん断ひずみを研究していました。この技術はベル研究所でのファンとサーストンの研究が発端となっています。3つの基本的な技術は、シリコンベースの圧力センサーのは3つの基本技術が利用されています。静電容量、単軸の縦および横方向のピエゾ抵抗、せん断ひずみのピエゾ抵抗の3つです。
 特定の応用分野において、より適切なレンダリングに関してのトレードオフがあります。ジョンとカール・デリングトンはこの技術を大学から引き出し、Motorola社で商業化の手助けを行っていました。Motorola社はピエゾ抵抗と静電容量の両方の圧力センシング技術を商業的に利用する唯一の会社です。Motorola社は現在アメリカで唯一のOEMの自動車用の圧力センサーのサプライヤーです。ジョンはSensym社に1年しかいませんでした。彼の妻はフェニックスからサンロゼへ移動したいとは思っておらずフェニックスの自宅で暮らしていました。ジョンは新たなMotorola社の技術に興味があり、Motorola社に戻りました。
 
 自動車への応用はシリコンセンサーの発展への大きな触媒となりました。それはまず、多数の絶対圧力センサーと共に始まり、近年エアーバッグ衝突センサーや燃料蒸気センシングへと拡大し、油圧や座席、空調の圧力スイッチ、タイヤの圧力、ショックアブソーバーなどで使用されています。(オフロード車やトラックへの応用は言うまでもありません。)研究はSiemens社やFraunhauffer Insitute社によってドイツで資金提供されています。Bendix社の自動車事業をSiemens社が買収したのがSiemens社でのセンサー研究グループの始まりです。このグループは5億ドル以上の資金を受けていました。ドイツでの研究は政府(数億ドル)や自動車産業によって大きく資金を受けています。
この多額の資金提供にも関わらず、TexasInstruments社製ピエゾ抵抗センサーを用いて使い捨て血圧センサー売ったのはミュンヘン近くの小さな会社1社だけでした。この事業は数年前に終了しました。
 
 1989年、ベンチャーキャピタル界隈から資金を調達した7年後、(これはベンチャー業界ではよくある事ですが、)Sensym社が、その資金を返す時がきました。Sensym社はNatinaol社への返済期限である1984年に資金が足りなかったため、再び資金調達をしていたのです。話を短くすると、当時のナショナルの財政部長であるチャーリー・スポークと現在のNational Semiconductor社の広報部長のメンバーであるグレイ・アーノルドのおかげで、Sensym社は資金の問題を解決し、National社と対等な立場となりました。
 
 1989年、Sensym社を売る目的で、私は現在のHarris-Roja社であるKahn & Harris社のボブ・ハリスを雇用しました。私達はSensym社を必要とする多くの企業からの大きな関心を受けました。20社ほどからの訪問の後、私達は運営状況や提供出来る資金額等を元に5社以下へとしぼりました。最終的に、Hawker Siddeley社からのオファーを受けました。 Hawker Siddeley社は投資額の7~10倍の投資利益を受け取りました。」
 Hawker Siddeley社はアメリカのロードアイランド州にFasco Sensors and Controlsと呼ばれるデール・ベネットが管理する大きなセンサーグループを持っていました。このグループはノースカロライナのFasco社、ロードアイランドのElmwood Sensors社、ロングアイランドのAerospace and Aviation Inc社、南カリフォルニアのMason社、フロリダのLaserdata社、ニューイングランドのClairostat社、テキサスの光ファイバーモジュールのSenisys社が属していました。私はグループ会議を通してこれらの全ての企業と親密になろうとし、それぞれから技術アシスタントを頼まれました。
 私達はアート・ジアスを1年間私達のコンサルタントとして雇い、ファスコ事業のそれぞれの技術的な方法を提供しました。
 
 1981年、Hawker Siddeley社はイギリスの大きな複合企業であるBTR社による敵対的買収を防ごうとしました。その期間中私達はHawker Siddeley社からSensym社を買い戻すことを検討しましたが、BTR社がHawker社つまり、Sensym社を買収する前にそれが出来ませんでした。BTR社はHawker Siddeley社に取って当たり前だったものとは全然違う経営理念を持っています。BTR社はその方法で成功をおさめてきました。企業を買収し10%価格を上げ、従業員コストを10%カットするという方法です。
 翌年、15%の価格上昇と従業員コストを1%未満の上昇に抑えるというBTRの計画は始まりました。とても単純な事です。それはBTR企業には当たり前の事です。そういった運営をするにはたった1人の会計士がいれば十分で、私は契約の終わりである1992年3月に辞表を提出しました。Sensym社を離れる前に、私はそういった体制では事業がだんだんと悪くなるという運命であるため、Sensym社を買収する意思あるという事をBTR社に提案しました。彼らは私の提案を却下しSensym社はBTR社の管理下でありつづけました。
 
 BTR社とSiebe社は1997年に合併しました。それによって、Sensym社とFoxboroITC社はクリス・カートソナズの下で統合されました。FoxboroICT社の施設は売られ、全ての運営はSensym社に統合されました。Sensym社の製造は主にメキシコにあるフワレス工場で行われ、シリコン処理はミルピタス行われていました。
Sensym社の名前はInvensys Sensor Systems社に取って変わられました。これはBTR社のセンサーグループであったの全ての企業のグループ名です。」
 

アート・ジアス

 
 アートジアスがその後何をしていたかの話をしましょう。1996年のクリスマスと1997年の新年の間、アートと彼の愛妻エリーはアフリカ旅行へ行きました。彼らの旅行はオークランド大学がエボニックスの新の起源を研究するために部分的に資金提供していたらしいです。アートは新たなセンサー企業を立ち上げたり、サックスでスワリ軍隊のマーチングを先導していたという話もあります。アートの背景に基づくとどれも真実の可能性もあり、実際どれも真実です。National Semiconductor社を1982年に離れてすぐに、アートはTricomp Sensors社の共同設立者となりました。Tricomp Sensors社はRalph Voerstの優れた投資家と資本金調達者のおかげでベリー・ブロック教授と共にCaptorr社を設立しました。
 
  ベリーは「静電容量やシリコンのマイクロ構造の指導者」であり、70年代に自動車の加速器のためにその技術をSignetics社に売った事で有名です。ベリーに関連している人々はそれぞれ、彼が自身で作った「名前」とは異なる言葉で彼を呼びます。私は彼は非常に面白いと思いますが、彼との会議に彼の代理人がいて彼が訴訟によって大金を得たという事を伝えられた時には、少し困惑しました。
Captorr社はDresser Industries社と契約し、超低圧(0.1インチ水柱フルスケール)の静電容量式差圧トランスデューサーの製造装置を販売しました。Dresser Industries社のためだったこの技術は現在、Dresser Industries社の低圧機器や日本とのベンチャー企業ドレッサー・ナガノ社で製造されるいくつかの製品に使われています。フジクラや長野が日本で販売している半導体圧力センサーは、元々Honeywell社やDresser Industries社、FoxboroICT社からの技術移転を通して生まれました。最終的にCaptorr社の技術権利はDresser Industries社に売られ、アートとベリーはCaptorr社を離れました。
 
 その後アートは、タホ湖の近くの牧場に住んでいる富豪ハーベイ・ワグナーによって作られたメンロパークのTeknekron Sensor Development Corp社に入社しました。ハーベイはTRW社に信用報告書のソフトウェア企業を売却し大金を得ました。Teknekron社は流動性を重視したインキュベーター環境で企業を成長させ、大きな投資利益を得るための会社でした。あらゆる種類のセンサーに関心を持つ業界及び学界の博士が所属し、最新のセンサー向けの半導体および微細加工用の施設がありました。ですがTSD社は投資利回りがとても低かったために最終的に事業を終了することになりました。そこで社長のマーティン・プシビルスキ、技術部長のアート、技術部のショーン・ケイヒル、施設関連のノーム・ニストームはFluid IC社というシリコンガス流量計の会社を作りました。この会社はガス流通事業における家庭用天然ガスメーターとその他のガス事業における監視用メーターの代替品を作る目的で設立されました。Fluid IC社はItron社により買収され1995年に事業を終了しました。
 
 アートは現在CaptorrのDBA、Ziasense社を通じてコンサルティングをしています。アートはセンサー産業のいくつかの会社にコンサルティングをしています。彼は新規の会社に対してシリコンセンサー技術について少し指導をしたり、技術力や事業に十分な能力がある会社には応用的な指導をしたりしています。アートはまた、センサーのASIC信号調整回路を提供しているAli Rastegar社によって設立されたMCATechnologies社の技術ディレクターとしても活躍しています。アートは本当に素晴らしい人間で、シリコンマイクロマシン産業を形成する上で重要な人物です。しかし、彼は今も恐ろしいゴルフスイングをします。
 

NeXt Sensors

 
 1992年私はリタイヤしました。リタイヤは特に12歳から働いてそれを楽しんでいた人間にとっては良いものではありませんでした。40代で蓄財をしリタイヤした私の友達は「私は働いても働いても貧乏であったラットレースを恋しいとは思わないが、働くことは恋しい。」と言います。ですが私はどちらも恋しいと思いました。
 
 1993年の前半、私はサンノゼのセンサー展に参加するつもりでしたが、Sensym社と2年間の競争禁止契約をしたため、彼らは何を求めているか考慮する必要がありました。Sensym社は私がその展示会に参加しないよう法的な手続きをしました。裁判所は彼らの要求を棄却し、私はいくつかの規定のもと参加する事が許されました。Sensym社は私がセンサー事業に関わらないようにするために多くの時間と費用を使いました。私達は、裁判所から告げられた規定を破らないという点に置いては意見が異なっていたのです。結局私は法律や司法制度について学び、Sensym社は私がアメリカで1994年6月1日までセンサー事業を出来なくするために多額の資金を使いました。Sensym社が製品改善に費やすべき資金全てを弁護料に費やさなければ、彼らはもっと良い企業になったと思います。
 
  アメリカで始まったトラブルを経験してから、私は1993年ドイツのニュンベルグのセンサー展に参加しました。私のブースには製品はなく、花と私がいるだけでした。ハンズ・ケラーは立ち止まり、花に関する事業をやっているのかと私に尋ねました。センサー展でアレクサンダー・ブライテンバッハに会えた私は幸運でした。アレクサンダーはショーの数週間前に、Sensorthechnics Gmbh社を辞めたばかりでした。アレクサンダーはSensorthechnics Gmbh社では非常に優れたセールスマンで、その事業の重要な部分を担っていました。1994年初頭、アレクサンダーと私はヨーロッパでNeXt Sensors Gmbhを立ち上げました。
 
 私はアメリカにNeXt Sensorsを持ち込み、1994年6月にSensym社と似た圧力センサーを製造し始めました。最初の月に一緒に働きたいと思っていた私の弟とデール・ダウエンハウアーとマリッサ・マグケースが加わりました。マリッサはSensym社での品質保証マネージャーでした。1993年までSensym社の技術・製造部長だったフレッド・アダミックも従業員としてではなく加わり、彼は自身の会社Spectrum MicroDevices社を立ち上げました。フレッドは今も私達の下にいますし、Spectrum MicroDevices社も未だ活動中です。フレッドはシリコン誘電体分離構造と新しいシリコンゲージ構造の研究をしています。
 立ち上げ当初、私達は2,3社から非常に重要な援助を受け、何社からか財政的な援助を受けました。Gandolf社の設立者で過去にSensym社のタイヤの圧力ゲージを設計したティム・ショッターは製品設計サポートをしてくれました。DB Design社の設立者で過去にSensym社で10年ほど働いていたデレック・ボーワーズはパッケージ設計や試作段階の設計サポートをしてくれました。私はRobertson & Stephens社とSensotec社の社長ジョン・イーストンから財政サポートを受けました。これらのサポートがとても助かりました。
 
 1995中ごろ、私達はさらなる財政サポートが必要と分かっていたので、何が出来るかという事を見つけるために、Harris-Roja社からのサービスを受けました。売り上げを上げマーケティング業績を上げるために多くの投資が必要だったので、私達は合併に興味ある企業を探し、彼らのインフラを使用する事に決めました。短い期間の中、私達はData Instruments社 と Telcom Semiconductor社に興味を持ちました。Telcom社の財政部長であるマイク・オマリーを知っていて、約20年間私はTelcomの社長、フィル・ドレイヤーに好印象を持っていたため、個人的にはTelcom社と働きたいと思っていました。フィル・ドレイヤーがモントレーAEAの新興企業財務会議でプレゼンをしているのを見たことがあったのです。
 

ASG

 
 「私達はNeXt Sensors社とData Instruments社を統合させ、1994年12月にData Instruments Advanced Siliconグループを作りました。当時はDI-ASGがその後どうなるか想像も付きませんでした。この時、後にアジアパシフィックを任せることになる日本人のセールスマン 秦哲夫氏 と出会いました。
 
 1995年には、Data Instruments社はNeXt Sensors Gmbh社を買収し、北ドイツのハノーバー近くの合弁会社Data Instruments -Next Sensors GmbHにヨーロッパにおける全てのマーケティングを任せました。
 1996年1月、フランスのパリのSensymtronic社がData Instrumentsに買収され、Data Instruments France社へと合併されました。それぞれの社長はそれぞれの部門の運営を続けています。
 
 1998年11月、Data Instruments社はハネウエルに売却されました。ASGグループ(NeXt Sensors社)は閉鎖されイリノイ州Freeportへと移りました。NeXt Sensorsの人々は6か月間、サニーベールからFreeportへの移動を手伝いました。ですが重要な全ての人々はサンフランシスコベイ地域に残っています。マサチューセッツ州アクトンに存在するData Instruments社の主要人物はもはや同社とは何の関係もありません。」
 

All Sensors

 


 1999年5月All Sensors Corporationは、デニス・ダウエンハウアーを唯一の従業員として設立されました。1999年11月、General Sensors社の資産を買収しました。
 
1999 – All Sensors CooperationがDennis Dauenhauerにより設立
2001 – ミニサイドポートパッケージを開発
2005 – 業務拡大により20,000 Sq Ft 開発・設計・生産工場をカリフォルニア州モーガンヒルに移転
2006 – RoHSコンプライアンスに準拠
2009 – ISO 9001:2008に認定
2010 – ULP 圧力ダイ及びCoBeam2 TM テクノロジー開発
2013 - REACH コンプライアンスに準拠
2014 - All Sensors GmbHをドイツに設立
2014 – 鉱物政策に準拠
2015 – All Sensors Asia Pacific株式会社を日本に設立
2018 - Amphenol Sensor Technology Group入り