新製品 マスエアーフローセンサー PMF2000シリーズ

 PMF2000 シリーズは、最新のMEMS技術とエレクトロテクノロジーを採用したエアーフローセンサーです。センサーは、センシング表面を流れる加熱された流体の温度変化を、流量変化に変換することにより、高感度で優れた安定性能を発揮します。 エアーフロー量:10 sccm~10,000 sccm. 温度補正範囲: 0 ~ 50 oc. 電圧比例出力: 1 ~ 5 V. 

       特長                                                           使用環境性能
   •高精度・高信頼性 ( 2% F.S.最大)              •使用温度範囲 : -25 oc ~ 85 oc
   •電圧出力、                                             •保管温度範囲 : -40 oc ~ 90 oc
   •ドリフトの少ない安定した出力                   •湿度 : 0~100 %(結露しないこと)
   •耐圧・耐衝撃性に優れる頑丈な                   •耐衝撃性 : 100 G ピーク 
     センシングコア構造                                 •コモンモード圧力: 25 psi 
   •アナログ出力 (1 ~ 5 V)                                        
   •高感度・高速応答性能 (1 ms)