新製品 マスエアーフローセンサーPMF5000 PMF6000シリーズ

  PMF5000/6000 シリーズは、最新のMEMS技術とエレクトロテクノロジーを採用したエアーフローセンサーです。センサーは、センシング表面を流れる加熱された流体の温度変化を、流量変化に変換することにより、高感度で優れた安定性能を発揮します。 エアーフロー量: 6 SLM ~ 50 SLM (~6000 SCCM).温度補償範囲: 0 ~ 50 °C .電圧出力:1 ~5V.  


    特長                                                        使用環境性能
• 高精度・高信頼性 (2% F.S.)                     • 使用温度範囲 : -25 °C ~ 85 °C
• 比例出力、温度補正                                 • 保管温度範囲 : -40 °C ~ 90 °C
• ドリフトの少ない安定した出力                  • 対応可能気体: 乾燥気体・乾燥ガスのみ
• 耐圧・耐衝撃性に優れる頑丈なセン            • 耐衝撃:100 G ピーク (5 drops, 6 axis) 
   シングコア構造                                      • コモンモード圧力: 25psi
 • アナログ出力 (1 ~ 5 V)   高速応答性(3ms) 
 • 双方向フローセンシング(オプション)   
PMF5000 シリーズ