ピラニ式真空センサー PVC1000シリーズ

  ピラニ式真空センサー PVC1000シリーズ
 
測定範囲 10^-3~30 mmHg 5mmHg以下の範囲で±5%の高精度
湿度: 0~100% (非結露) 温度補正範囲: -40 ~ 125℃ 耐久圧力: 27.5Bar
 
 PVC1000シリーズのMEMSピラニ式真空センサーは、超低消費電力、長寿命、最小限のメンテナンス、低コストを実現しつつ、真空測定手段の小型化を実現いたします。

特長
・超低消費電力<5mW
・高速応答速度<5m秒
・0.1㎤程度のガス量
・低ノイズ
・高解像度
・オンチップ温度検出
・長期安定性
・洗浄可能
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